本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。
机械部分主要由以下两个单元构成：真空箱室单元、真空获得系统单元。
真空箱室单元由真空箱、真空测量装置、加热烘烤组件、管道阀门等组成。
真空箱：采用304不锈钢材质制造，分为上中下三个独立的真空箱室，其内表面在加工后经除油、电抛光处理，---了较少的藏气，硅片除气装置生产厂家，提高了真空箱室的抽空效率和---真空。真空箱室外部有加强筋，---真空箱室承压能力。每个真空箱室门中间部位各具有一个φ100石英观察窗，天津硅片除气装置，真空箱室与真空获得系统采用柔性软管连接，方便快捷，硅片除气装置厂家，并减少震动。真空箱室开门为上中下三开门，氟胶圈型式密封，向右侧侧开门。
设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可独立工作。
设备自正式验收合格之日起整机免费保修12个月。免费保修的范围包括：（1）在正常情况下，硅片除气装置公司，在保修期间内非人为因素引起的一切设备问题和自然磨损；（2）备品备件清单，供方提供备品备件清单上所列的备件各一套。（3）在保修期内由需方使用不当造成的维修，只收需方的材料费。
本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方，环境温度是5-35℃，环境湿度是35%~65%的相对湿度；且要保持放置---期通风---的位置。使用前注意电压是否正确，仅适用机台上所标示之电压，避免电过量，而使电线走火．请勿置于潮湿之场所，请勿直接用水冲洗，以防漏电；
请小心将物品放入机台，关上箱门，检查是否密闭。试验结速后，站侧面打开箱门，以免热气烫到---。
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