1、泵设备自身温度过高：被抽气体介质的温度太高，应该让气体介质在冷 却了之后再进入泵设备内；要学会通冷 却水或用电风扇来为设备进行降温处理，同时要注意检查相关部件的配合间隙，然后按照规定的精度要求来进行修理或更换。
2、真空泵吸入了硬物从而导致泵体出现磨损：可以拆开泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换。
3、冷 却水流量不够：加大冷 却水的流量就好了。
4、因为装配不当，导致转子的轴心出现位移，从而造成单面磨损：可以拆开设备进行检查并重新装配。
1、烧电机：真空泵频繁启动；排气背压过高（排气管过小、过长，排气不顺畅）；满液启动（真空泵启动时泵内的液位过多，塔式真空负压站，正常泵内的水位比真空泵补水口略高一些）；
2、断叶轮：真空泵频繁启动；排气背压过高（排气管过小、过长，排气不顺畅）；满液启动（真空泵启动时泵内的液位过多，正常泵内的水位比真空泵补水口略高一些）；
3、叶轮磨圆盘：由于泵频繁启动、满液启动，导致真空泵叶轮外串，出现叶轮磨圆盘的情况，导致真空泵运行声音异常，真空度也上不去；
4、真空度上不去：水温过高，真空泵内部有机械故障。
正确地组合真空泵。有的时候选用一种泵不能满足抽气要求由于真空泵有选择性抽气，需要几种泵组合相互补充才能满足抽气的要求。如果钛升华泵对氢有---的抽速，但是不能进行抽---，而三极型溅射离子泵，河北塔式真空负压站，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速两组合起来，则会使真空装置得到相应的真空度。
真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时，应该选用各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染的措施。
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