科创真空-天津空调两器真空---质谱检漏仪

半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，空调两器真空---质谱检漏仪多少钱，经过---质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易---，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和---环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。

真空箱式---检漏系统

科创真空生产、销售---检漏设备，我们为您分析该产品的以下信息。

真空箱式---检漏系统

概述

本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04mpa，对被检工件充注---气，应用真空箱法进行---质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的---气回收循环使用，后向工件内充入规定压力的sf6和氮气工作气体。

回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把sf6电器设备内一定压力的sf6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用r22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的sf6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至sf6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。

性能特点

1、安全

★ 电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能，---系统本身运行---安全和被检工件的安全。

★ 真空箱门设安全光电保护装置，---操作者安全

★ ---气示踪安全。

★ 储气罐和压缩机出口配置安全阀---系统安全。

2、高灵敏度

★ 检漏精度高。

★ 抑零功能，消除---本底影响。