




涡旋泵已被广泛应用于半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业:材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、真空排气设备。医院设备行业:透析机、生物制备与---制备。包装行业:食品、---、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统---的配置。

涡旋式真空泵是新一代的真空泵。它具有---的压缩比,在较宽的压力范围内有稳定的抽速,涡旋真空泵公司,涡旋式真空泵是两条渐开线螺旋曲线盘构成,即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘。动涡旋盘作偏心安装,静涡旋盘与动涡旋盘便形成月芽形腔体。随着动涡旋盘转动,月芽形腔体不断向里旋转压缩,然后从中间排出至出气口。动涡旋盘连续运转,气体不断从进气口吸入、压缩,由出气口排出,形成真空。

涡旋真空泵主要由5 个部件组成:
(1)动静涡旋盘副与基座;一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错,涡旋真空泵, 两者之间---180°相位差组成的一对涡旋盘副机构。
(2)曲轴:---动涡旋盘绕静涡旋盘转动的偏心机构。
(3)密封件:---动、静盘的端面齿顶密封等的密封装置。
(4) 防自转机构:---动、静盘180°相位差的机构。
(5)电机:输出约1500r/min的动力机构。
它的主要运动件只有一个动涡旋盘,因而动力传递简单,相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小,动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小,泵内运动件与泵腔无摩擦,所以几乎无磨损,运行平稳,涡旋真空泵,消耗功率小,气体流动损失小,工作---性高、---,易于维修,维修费用低。采用空气冷却,无需水冷。

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