检验是个细致活，每个细节都不要落掉，更不能存在侥幸心理。有一台设备，用户存放4年了，做完了常规的清理工作按部就班地连接好管路开始抽真空，怎么也达不到出厂标准，真空腔体加工，什么都查了，就是一根供气的真空胶管没查，当时就认为真空胶管不会漏。结果恰恰相反，问题就出在这根真空胶管上。
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真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体加工要考虑容积、材质和形状。
真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和真空系统中，应用较广。
为了减小腔体内壁的表面积，不锈钢真空腔体加工，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。真空系统的腔体，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。
大的泄漏通常会非常明显：真空腔体压力未按正常速度下降，或者---压力明显高于正常值。然而，有些时候，由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载，小的泄漏很难被发现，这时，即使真空计的读数仍然在正常的水平，非标真空腔体加工，泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体（如氧气），半导体真空腔体加工，这些气体有时候会对工艺过程（比如某些镀膜工艺）带来非常---的影响。所以，无论真空系统的压力是否有明显下降，都应该定期进行泄漏检测。
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