---气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子为4.003，分子直径为2.18×10-10m，半导体---检漏，分子的为3.65×10-27kg，在标准状态下的密度为0.1769kg/m3，临界温度为5.25k，临界压力为2.26×105pa，1atm压力下的沸点为4.214k，熔点为0.9k，三相点温度为2.186k，三相点压力为51.1×10-2pa，在标准状态下的热导率为510.79j/(m·h·k)，在标准状态下的定压比热为5233j/(kg·k)，在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5pa·s，1l液---气化为标准状态下的---气体积为700l。
这是常用的一种方法，一般用于检测体积相对较小的部件，半导体---检漏服务，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等) 用喷喷---，如图4 所示，如果被检器件某处有漏孔，当---喷到漏孔上时，---气立即会被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室中，---质谱检漏仪的输出就会立即有响应，使用这种方法应注意:---气是较轻的惰性气体，在喷出后会自动上升，为了准确的在漏孔位置喷---，喷---时应自上而下，由近至远(相对检漏仪位置) ，这是因为在喷下方时---气有可能被上方漏孔吸入，半导体---检漏多少钱，就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷---应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。
质谱室
形象的说，质谱室是---质谱检漏的---，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，半导体---检漏品牌，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。
真空系统
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01pa的真空度，同时------离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是---的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。
电气系统
---质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，---面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。
辅助真空系统的配置
在---质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、---检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的---影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常---的。
标准漏孔
使用---质谱仪的时候是否---质谱仪能通过自检，那就认为这台---质谱检漏仪是正常的呢？其实不然，---质谱仪能通过自检，只是说明，---质谱仪本身基本没有问题。但是，---质谱仪是否准确？这个不确定。
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