为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化，就必须采用管壳来密封。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞，所以在元器件封装之后，就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。 ---气检漏就是采用---气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为---原子的尺寸很小，容易穿过小洞而进入到管壳内部，所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞（即能够检测出漏气速率约为10?11～10?12cm3/sec的小洞），灵敏度可与性检漏方法---，但要比性检漏方法简便。
---气检漏试验的方法：首先把封装好的元器件放入充满---气的容器中，并加压，---检漏公司，让---气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留---气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的---气。
1、抽真空至5pa以下就可以开始检测。
2、插上检漏仪电源，lng罐车---检漏公司，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行
3、当”系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，高压开关---检漏公司，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏(等待几分钟)
4、按检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意:检漏口的压强不得超过10mpa，否则机器易损坏，
5、 数值稳定后，先记录下来，这就是. 本底”
6、逐个将---气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。全部完成充---后再观察20分钟，看数值有无大的变动。
7、关机时，槽车---检漏公司，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，后关电源。
质谱室
形象的说，质谱室是---质谱检漏的---，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。
真空系统
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01pa的真空度，同时------离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是---的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。
电气系统
---质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，---面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。
辅助真空系统的配置
在---质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、---检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的---影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常---的。
标准漏孔
使用---质谱仪的时候是否---质谱仪能通过自检，那就认为这台---质谱检漏仪是正常的呢？其实不然，---质谱仪能通过自检，只是说明，---质谱仪本身基本没有问题。但是，---质谱仪是否准确？这个不确定。
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