逆流---质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对---气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lo4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的---气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流---顷质谱检漏仪的工作原理。
1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm)， 在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也
就小，因此微小漏率也就能反应出来，阀门---检漏，灵敏度高。
2、---的小(相对分子为4)，易于穿过漏孔。这样，---较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
负压法
负压法是一种常见而方便的检漏方法。当进行---气检漏时，---被连接到充满---气的瓶子中，阀门---检漏报价，并且使用喷将---喷射到泄漏部分。如果---气从泄漏孔流入压力容器装置，装置中---气的分压将上升，阀门---检漏价格，泄漏率将显示在---气检漏设备上。它是否合格取决于标准泄漏率。如果超过标准泄漏率，将被视为不合格。
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