




---性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,螺杆干式真空泵,因此它运转---,---。
操作维护方便。
动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。
适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响.
多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。

螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻等,

工艺要求达到的真空度真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果压强要求低于3300pa,则不能选择水环式真空泵,选择螺杆干式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。

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