硅片除气装置-科创真空产品-硅片除气装置公司

真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸：号宽1050x高200x深700mm  号宽1050x高380x深700mm；

2. ---真空度：2×10-5pa；

3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除---能，硅片除气装置，±3℃；

4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；

5. 观察窗：每一个箱室均配一个φ100观察窗，材质为石英玻璃，透光好；

6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，可手动独立控制工作；

7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，硅片除气装置，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能。

真空除气炉、真空存储柜的使用环境

使用环境

　设备占地面积约：长2米，宽1.6米（约3.2平米）高1.95米；

　电源：380 v±38 v，50 hz±0.5 hz，约15kw（外部电源用户自备）；

　工件要求：无油污，无腐蚀性物质；

　环境温度：   5 ℃ ～ 35 ℃；

　相对湿度：  20%-85%；

　设备应安装在通风---的厂房内。