




优点:
1、无油设计,不耗油,无地漏缺点。
2、真空泵机身外、内增加防腐涂层,螺杆干式真空泵,能够比油封式更适应环境。
3、泵内无气体压缩,可以进行有效的可凝性气体抽取。
4、结构不复杂,维护操作简单。
5、便捷
缺点:
1、螺杆干式真空泵价格较高
2、不适用于抽取爆的气体及含氧量较高的气体

螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转,每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环,现在以其中一对齿来说明。
吸气过程
阳转子按逆时针方向旋转,阴螺杆按顺时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。
压缩过程
转子端面是排气端面。在这里,阳转子沿顺时针方向旋转,阴转子沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面,下方的端面为排气端面。
排气过程
螺杆泵的排气过程,齿间容积与排气孔口连通后,即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小,具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。

螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻等,螺杆干式真空泵公司,

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