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---质谱检漏仪的基本原理与结构

---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，阀门---检漏，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，阀门---检漏厂家，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因

此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，阀门---检漏，因此被广泛采用，已成为市场的主品。

机械泵的工作方式不-样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。

---气检漏的主要技术性能

1.真空箱尺寸根据电芯尺寸确定;

2.一般为三箱联动系统，生产节拍可满足单台6ppm—12ppm；

3.开门方式，可根据用户生产工艺要求来设计，一般为平开门式、滑台合箱式；

4.上下料采用机械手或机器人，正常生产时设备无需人工操作；

5.系统配置---扫描装置，可将每个电芯的检测数据对应存储；

6.具有清---功能

7.具有---气回收功能（此功能可选）

8.自动判断，并对应放置（即不合格品放于不合格线，合格品放于合格线）

9.可通过触摸屏设置不同等级密码，更改设备参数；

10.人机交互界面，触摸屏实时反映运行状态和测试数据；

11.故障统计功能

12.系统采用配置和标准化设计制作，---运行稳定。

今天和大家分享的是---气检漏的性能指标，想了解更多产品信息您可拨打图片上的电话进行咨询！