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---质谱仪的整体结构

质谱室

形象的说，质谱室是---质谱检漏的---，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。

真空系统

真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01pa的真空度，同时------离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是---的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。

电气系统

---质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，---面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。

辅助真空系统的配置

在---质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、---检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的---影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常---的。

标准漏孔

使用---质谱仪的时候是否---质谱仪能通过自检，那就认为这台---质谱检漏仪是正常的呢？其实不然，---质谱仪能通过自检，只是说明，充气柜---检漏多少钱，---质谱仪本身基本没有问题。但是，---质谱仪是否准确？这个不确定。

真空法---质谱检漏

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气，蒸发器---检漏多少钱，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入被检产品内部，冷凝器---检漏多少钱，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹---气，可以实现漏孔的; 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的---气，可以实现被检产品总漏率的测量。

真空法的优点是检测灵敏度高，可以，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

真空法的缺点是只能实现一个---压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。

真空法的检测标准主要有qj3123-2000<---质谱真空检漏方法>、gb /t 15823-2009<---泄漏检验>，主要应用于真空密封性能要求，北京---检漏多少钱，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。

---泄漏检测应用

生产零件的控制使用---检漏仪的组件有助于---生产过程的完整性。典型的例子包括:密封包装、阀门、歧管、密封件、真空容器和系统、、高纯度管道、制动管路、燃油管路、液压管路、制冷组件、散热器、热交换器、冷凝器、储罐。

系统维护

使用真空系统或压力系统的工业过程工具必须进行测试，以检查偶尔的泄漏。这可能是预防性维护的一部分，也可能是意外故障的一部分。真空系统的典型例子包括:真空炉、真空涂布机、电子显微镜、手套箱、线性、电子束和离子束加工设备、半导体加工设备、激光加工设备。加压系统的典型例子包括:发电厂、气体处理系统、生物反应器、液化气设施、地下储罐、地下电缆和管道。

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