1、超声波清洗
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，铝材真空腔体加工，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的.
2、电解侵蚀清洗
电解侵蚀清洗类似于电解抛光，是指在溶剂中利用电解作用，清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物，主要用于化学稳定性较高的合金部件，如不锈钢，耐热钢等.
3、蒸汽脱脂清洗
蒸气脱脂指被粘物表面用餐剂的蒸气不断清洗以达到脱脂的目的，适用于表面类脂膜和油脂膜的清洗，操作方法简单，可以实现大批量清洗.一些带有牢固附着物或污染较为---的基片在擦洗或超声波清洗后，用蒸汽脱脂清洗可以实现---的清洗效果.
真空阀门出现断头螺栓的解决方法
1.锉方榫拧出法和管子钳拧出法，天津真空腔体加工，适用于螺栓在螺孔外有5mm以上高度的断头螺栓。
2.点焊拧出法适用于断头螺栓在螺孔外或断头螺栓与螺孔相平的条件下，它是由钻有比螺孔小的孔的扁钢制成，不锈钢真空腔体加工，点焊填满孔后拧出。
3.方孔楔拧出法适用于断在螺孔内的螺栓，方法是先将螺栓中间钻一小孔，用方孔锥具敲人小孔中，然后拧出。
4.钻孔攻丝恢复法适用于无法取出螺栓的情况，它是先将真空阀门中螺栓断面整平，打样冲后，用比螺纹内径稍小的钻头钻孔，按原螺纹攻丝而成。
5.断头螺栓在采用以上拧出方法之前，非标真空腔体加工，应采取一些常规措施，如---浸透、清理表面油污锈迹(这点---对点焊的拧出法更重要，否则焊不牢)。要时，还可将真空阀门的螺栓周围加热，在热塑的条件下将螺栓拧出。对断头螺栓的拧出还可以采用化学腐蚀方法，适当清洗锈死和腐蚀的螺栓、螺孔，会加速断头螺栓的拧出(拧出螺栓后应用水冲洗螺孔，以免残存化学药剂腐蚀阀件)。
1、放电清洗
放电清洗一般用于高真空、真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.
2、氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短，容易被抽走的特性，用氮气冲洗被污染的真空系统，同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间，缩短真空系统的抽气时间.
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