1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，河北---检漏系统，耗时耗力；
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏；
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过---质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易---，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和---环境。
4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。
正压法
正压方法是首先用一种以上的---压---气或---气的混合气体填充压力容器装置。在压力容器装置的外部检测中，泄漏孔泄漏到外部---气中，然后找到泄漏孔。当用抽吸搜索---气时，一旦---气被吸入，---气检漏设备将显示泄漏率值。在这种情况下，由于压力容器装置的外部是一个---压，充入压力容器装置的气压需要至少一个---压或更多个---压。然而，压力不应太高。如果压力过高，插入设备的压力表或其他插件会弹出，造成伤害和其他危险事故。
热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能，如果热管本身存在漏点，汽车零部件---检漏系统，首先会影响热管的导热性能；其次由于热管都是安装在设备内部，如果发生泄漏，里面封装的液体就会流出，---污染和影响设备的正常运转，所以热管生产企业，汽车零部件---检漏系统公司，都会采用---质谱检漏仪对热管进行检漏。
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