




1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、icp、pecvd等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,铸件---检漏系统生产厂家,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行---质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过---质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易---,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,天津铸件---检漏系统,保障工作人员安全和---环境。
4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
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用于电厂检漏的---质谱检漏仪。关键部件均为进口,性能。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
可检漏率: 5×10-12pa·m3/s漏率显示的范围: 1×10-3~1×10-12pa·m3/s启动时间: ≤5min响应时间: <2s检漏口: 300pa---真空: 5×10-4pa外形尺寸: 560(w)×420(d)×300(h)重量:46kg
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---质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,铸件---检漏系统厂家,使得电路噪声已经降得很低,因此---质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:
一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。
二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出---气,而电离规,---是磁放电真空规对---有记忆效应,其表面污染时就更为---。
三、抽气系统中抽速不稳定和---的反扩散。
四、检漏仪中空气的本底影响。
五、残余气体分子对离子的散射作用。
六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。
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