小漏和微漏就比较难查了，不锈钢真空腔体加工，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如或---，用向的地方喷射或---，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了，真空腔体加工，也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，再喷射。好是反复几次，确认漏点。zhc一1仪表也可以用上述方法来检漏，不同的是zhc．1仪表能在旋片泵工作范围内进行检漏，而且不怕暴露于---中。
并非所有的抽气时间延长、---压力下降都是因为泄漏，在使用检漏仪检漏前，有---了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。
真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物，在真空下持续的释放出气体，这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间，并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时，死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来，形成类似于放气或泄漏的现象，通常把这种现象叫做虚漏。
真空是物理学里面的一个概念，反映的是空无一物的状态.在二十世纪的时候狄拉克提出了真空的概念，即真空并不是无物而是有实物粒子和虚粒子转化的，但整体对外是不显示物理属性的宏观总体.真空就像是一个能量海，不断振荡并且充满着---能量.
真空的属性确实是需要用空间来描述，但只是种数学表示，半导体真空腔体加工，是为了方便研究才引入的参量，并不是说真空的性质取决于空间.
真空技术是建立在低于---压力的环境下，以及在此环境中进行工艺制作、科学试验和物理测量等所需要的技术.
用现代抽气方法获得的很低压力，每立方厘米的空间里仍然会有数百个分子存在.
气体稀薄程度是对真空的一种客观量度 ，直接的物理量度是单位体积中的气体分子数.气体分子密度越小，气体压力越低，真空就越高.真空常用帕斯卡或托尔做为压力的单位.
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