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真空泵易漏气的部位有:焊缝起焊及收焊部位,两条焊缝交叉点,波纹管焊接部位,管接头焊缝,受运动影响的钎焊焊缝。法兰密封或动密封处,如果安装前仔细清洗,装配合理,这种部位不易漏气。金属一陶瓷、金属一玻璃封接处,如引出电极、规管的高压引线,管脚,管帽等处。受冷、热冲击影响的焊缝。

工艺要求达到的真空度真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300pa,则优先选择水环式真空泵作为真空装置,如果压强要求低于3300pa,则不能选择水环式真空泵,选择螺杆干式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。

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