




涡旋泵已被广泛应用于半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业:材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、真空排气设备。医院设备行业:透析机、生物制备与---制备。包装行业:食品、---、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统---的配置。

涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:
品行业:升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。
科研院所:旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。
电子光伏:浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。
航天航空:钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。
冶金行业:浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。
核工业:零泄露爪泵可抽除uf6气体


涡旋真空泵主要由5 个部件组成:
(1)动静涡旋盘副与基座;一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错, 两者之间---180°相位差组成的一对涡旋盘副机构。
(2)曲轴:---动涡旋盘绕静涡旋盘转动的偏心机构。
(3)密封件:---动、静盘的端面齿顶密封等的密封装置。
(4) 防自转机构:---动、静盘180°相位差的机构。
(5)电机:输出约1500r/min的动力机构。
它的主要运动件只有一个动涡旋盘,涡旋真空泵公司,因而动力传递简单,相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小,动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小,泵内运动件与泵腔无摩擦,天津涡旋真空泵,所以几乎无磨损,运行平稳,消耗功率小,气体流动损失小,工作---性高、---,易于维修,维修费用低。采用空气冷却,无需水冷。

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