有些真空工艺会产生大量的尘土，如果尘土随被抽气体进入油封真空泵内混在泵油中，会像研磨剂一样加速泵腔内零件的磨损，对泵转子和泵腔造成磨损和损坏，河北真空腔体加工，堵塞油路或使泵无法运转，如果尘土进入真空阀门则会使密封失效而泄漏，因此尘土的---和过滤己成为增加真空腔体的使用寿命，增加生产率的关键问题，在有尘土的真空系统中，要采用尘土过滤器。
在尘土量较少时，可以由泵油过滤系统滤除，但尘土量较大时，为不让真空泵损坏，让真空泵的正常运转要使用除尘器。真空腔体加工厂家解释说常用尘土过滤方法有以下几种：
（2）油淋式。在油泵的效果下，真空腔体加工，使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下，油雾与上升的气流相互效果吸附，混在气流中的尘土与油一同沉降至油池。
（3）油湿介质粘附式。尘土在气流效果下磕碰用真空泵油浸湿的介质外表而被粘附，卧式真空腔体加工，常用介质有环状或颗粒状陶瓷、金属丝条等。
（4）介质阻挠式。使用介质的机械阻挠效果过滤尘土，常用介质有金属丝网、天然或合成纤维、多孔金属、多孔塑料等。
（5）静电吸附式。使用真空中气辉光放电构成等离子体，尘土在等离子体中附着电荷，在电场力效果下被驱向电极外表而集。
（6）混合式。将以上几种过滤形式进行组合构成混合的过滤形式。
真空腔体是内部为真空状态的容器，很多的技术工艺均需要在真空或惰性气体保护条件下完成，真空腔体是这些工艺过程中重要的基础设备.
根据真空度真空被分为低真空（100000-100pa），中真空（100-0.1pa），高真空（0.1-10-5pa），真空（10-5-10pa）。低真空主要应用于隔热及绝缘、金属熔炼脱气、无氧化加热、真空冷冻及干燥和低压风洞等;高真空主要应用于真空冶金、真空镀膜设备等领域;真空则偏向物理实验方向。
核聚变装置的10-4pa量级高真空运行环境的获得主要由低温泵、涡轮分子泵等可获得真空的泵实现。根据不同功能特点，大型真空腔体加工，有3类低温泵安装在iter装置上。cryostat低温泵抽气系统集成了两台超临界---气冷却低温吸附泵。200台分子泵需要满足不同子系统的应用要求。较低的真空获得由螺杆泵、罗茨泵和涡旋泵实现。为满足iter装置的环境条件，包括edwards和pfeiffer公司在内的真空泵制造商已经对真空泵的性能进行了适应性调整。为使edwards公司生产的涡轮分子泵的磁场容限适用范围更为宽泛，磁场容限增强型next400分子泵采用了16mm壁厚的马氏体不锈钢整体泵腔结构，导热基板的空气冷却结构，真空陶瓷引电和金属密封装置，以及耐辐射密封元件优化等多项新技术，实现了160mt磁场条件下---运行。
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