包括多个储物室、微控制器、真空泵、真空管道、排气阀、放气阀和真空测量装置，所述储物室通过真空管道、排气阀与真空泵相连接，硅片除气装置价格，所述微控制器通过控制信号控制真空泵和排气阀用以对所述储物室进行真空排气，所述真空测量装置用以测试储物室的真空度；所述多个储物室各自配置有放气阀，微控制器控制放气阀用以对储物室进行放气；所述储物室还设有真空室门传感器，用以产生真空室门开关信号，并将真空室门开关信号输出至微控制器，由微控制器根据开关信号控制真空泵对储物室进行真空排气。
旋转真空除气装置，包括旋转机体，旋转机体的轴线相对于水平面倾斜15゜—75゜.旋转机体与驱动装置连接.旋转机体在驱动装置的驱动下，绕旋转机体的轴芯旋转.旋转机体的下端为下柱体，上端为上柱体，中部为中间柱体.此三个柱体为一整体金属壳包围形成的三个圆柱组成部分.其内部是浇筑成形的为一整体的耐火材料内衬.在旋转机体的轴芯线上，分别在下柱体，中间柱体，上柱体的耐火材料内衬中设置金属液排出通道，精炼室，硅片除气装置，负压通道.此三者相互连通，其下端的排出通道通过精炼液导管与储液池的精炼液区连通;上端的负压通道与真空抽气通道相连通.本发明能够解决现有炉外真空精炼设备存在的不足。
真空储存柜适合电子类、半导体、芯片、新能源方面使用的真空储存柜，适合厌氧材料的真空存储、材料及器件的除湿使用，并在各大真空需求行业单位及科研院所使用。以防潮、防氧化变色。经过存贮的产品可防止氧化、变色、褐变、霉变、虫蛀、受潮、可保质、保鲜延长产品储存期限，本品还可用于真空脱泡、除气等作用，可在真空灌胶消气泡的工艺过程中应用。
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