




内漏多发生在有水冷套的设备上,查外漏没有发现疑点。但是却有以下现象;机械泵的抽速明显偏低,真空计示值低,机械泵油很快乳化,真空室内的铁基零部件明显锈蚀,具备以上条件基本可以确定有内漏。有一台25kg中频炉,2x一70旋片泵和150罗茨泵两台泵加到一起抽也只能抽到l0pa,150罗茨泵的作用显现不出来,半导体真空腔体加工多少钱,没发现有外漏,却具备了机械泵油很快乳化,真空室内铁基件明显锈蚀的条件,解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水。剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净,再通冷却水,看有无湿润点,湿润处就是漏点。
现在真空设备的应用领域愈来愈广,很多是与电、电磁、水、气源和制冷有关的。不论是真空炉还是镀膜设备都会碰到电气部分出问题。相当多的情况下不是电源部分的问题,这一点让人不好理解。其中有的是机械装配中不细心造成的,有的是绝缘材料或结构上的问题。这时,不要急于下结论,不要急于拆卸设备,应认真分析故障现象或请教专门从事此项工作的人员。避免误拆误卸造成不---的损失。有一台设备,工作时发生放电现象,经过对工作记录的分析和与操作者的交流,半导体真空腔体加工公司,得出不同的结论,有人认为电源有问题,有人认为是装配过程的问题。,对设备进行了拆卸,重新装配后放电现象消除了。有一台磁控溅射镀膜机,下半部的产品明显好于上半部的,靶的外表看不出什么问题来,拿高斯计一试,上半部磁环退磁了。经检查原来是水路出了问题。调整了水路,换了磁环,产品上下一致的问题得到了解决。

核聚变装置的10-4pa量级高真空运行环境的获得主要由低温泵、涡轮分子泵等可获得真空的泵实现。根据不同功能特点,有3类低温泵安装在iter装置上。cryostat低温泵抽气系统集成了两台超临界---气冷却低温吸附泵。200台分子泵需要满足不同子系统的应用要求。较低的真空获得由螺杆泵、罗茨泵和涡旋泵实现。为满足iter装置的环境条件,包括edwards和pfeiffer公司在内的真空泵制造商已经对真空泵的性能进行了适应性调整。为使edwards公司生产的涡轮分子泵的磁场容限适用范围更为宽泛,磁场容限增强型next400分子泵采用了16mm壁厚的马氏体不锈钢整体泵腔结构,导热基板的空气冷却结构,重庆半导体真空腔体加工,真空陶瓷引电和金属密封装置,以及耐辐射密封元件优化等多项新技术,实现了160mt磁场条件下---运行。
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