---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，阀门---检漏系统生产厂家，---气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，电子器件---检漏系统生产厂家，油泵工作会有油雾排出，天津---检漏系统生产厂家，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
真空箱---检漏，根据---检漏的基本检漏原理，用---气作为示踪气体，在真空箱内将---气充入工件，然后通过---检漏仪能、迅速准确的判断工件的泄露情况。
基本技术参数编辑真空箱数量： 根据实际需要真空箱容积： 根据实际需要示漏---气压力：根据实际需要耐压试验压力：根据实际需要检漏生产节拍：根据实际需要---气回收率： ≧98%‘’
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不同类型的泄漏有着不同的表现。泄漏处的几何结构、压力、材料、湿度、温度以及流量都是影响泄漏表现的因素。过多干扰因素给检漏工作带来了很大的挑战。
以下三种难检测类型是小编搜集和分析的案例。
类型 1：射束泄漏
在使用示踪气体检漏时，有时可能只能定位极狭窄区域。与此同时，您却得到泄漏指示，但是与测试对象远离(几英尺/分米)，因而原因不明。
您发现的泄漏可能是非常狭小且高速射出示踪气体细束，这几乎跟激光器射出的窄激光束的情形一样。离泄漏点越远，射束就散开得越大，但即便距离泄漏点相当远的距离，射束可能依然非常细窄。
气体射束可能撞到操作员或周围的结构并发生“回弹”，从而导致操作员弄不清楚射束的真实来源位置。如果注意到这种难以检测的泄漏，就可以节省---的检测时间。
类型 2：不明显的液体泄漏
对产品进行液体泄漏测试时，结果可能是产品不存在泄漏，但如果用示踪气体检漏法进行检测，就能够---地发现泄漏。
漏孔可以将漏液以非常缓慢的速度送到泄漏处的表面，以致于液体在到达物体外部的表面时，即被蒸发。液体蒸发速度非常快，在泄漏点无明显痕迹。
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