流体抛光是依靠高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。常用方法有：磨料喷射加工、液体喷射加工、流体动力研磨等。流体动力研磨是由液压驱动，使携带磨粒的液体介---速往复流过工件表面。介质主要采用在较低压力---过性好的特殊化合物（聚合物状物质）并掺上磨料制成，磨料可采用碳化硅粉末。
超声波抛光将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，非标真空腔体加工，依靠超声波的振荡作用，卧式真空腔体加工，使磨料在工件表面磨削抛光。超声波加工宏观力小，天津真空腔体加工，不会引起工件变形，但工装制作和安装较困难。超声波加工可以与化学或电化学方法结合。在溶液腐蚀、电解的基础上，半导体真空腔体加工，再施加超声波振动搅拌溶液，使工件表面溶解产物脱离，表面附近的腐蚀或电解质均匀；超声波在液体中的空化作用还能够抑制腐蚀过程，利于表面光亮化。
随着产业发展及学科融合，真空技术应用场景---丰富，相关产品及科学仪器的数字化和智能化程度---增加；科技和新兴领域的应用条件严苛，技术攻关难度和风险---增加。作为真空技术的四类基础部件———真空腔体、泵、阀门和密封件的制造水平提升和工艺优化已经成为重大科学装置建设和装备研制的重要支撑，代表了产业基础共性技术的发展方向。为满足工艺环境的应用要求，真空腔体和密封件的制造技术快速发展；为适应绿色智能的发展理念，真空泵和阀门作为通用技术产品的迭代周期逐步缩短。
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