硅片除气装置生产厂家-硅片除气装置-科创真空公司

真空除气储存柜的放置

本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方，硅片除气装置品牌，环境温度是5-35℃，环境湿度是35%~65%的相对湿度；且要保持放置---期通风---的位置。使用前注意电压是否正确，仅适用机台上所标示之电压，避免电过量，而使电线走火．请勿置于潮湿之场所，请勿直接用水冲洗，以防漏电；

请小心将物品放入机台，关上箱门，检查是否密闭。试验结速后，站侧面打开箱门，以免热气烫到---。

真空除气炉的构成介绍

本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。

机械部分主要由以下两个单元构成：真空箱室单元、真空获得系统单元。

真空箱室单元由真空箱、真空测量装置、加热烘烤组件、管道阀门等组成。

真空箱：采用304不锈钢材质制造，分为上中下三个独立的真空箱室，其内表面在加工后经除油、电抛光处理，---了较少的藏气，提高了真空箱室的抽空效率和---真空。真空箱室外部有加强筋，---真空箱室承压能力。每个真空箱室门中间部位各具有一个φ100石英观察窗，真空箱室与真空获得系统采用柔性软管连接，硅片除气装置，方便快捷，并减少震动。真空箱室开门为上中下三开门，氟胶圈型式密封，向右侧侧开门。